為了讓厚度量測數據清晰而又精確,一種使用先進技術的雙傳感器測厚係統應運而生。
Solarius研發的厚度測量係統使用兩個上下精確對位的非接觸式傳感器。這種測量方式快速準確,允許從上下兩側同時測量樣品的一層或多層的厚度。係統工作時,樣品上下兩側同步量測,這樣來自上下兩種傳感器的測量值差異將生成最終的厚度數據。
快速且精確的厚度檢測
模塊化設計
高效率大麵積檢測
靈活且易於自動化
可定製的人機交互式界麵
定製化分析
非接觸式無損測量
AOP厚度測量係統配備一套納米級精度的XY運動平台,該平台測量範圍高達400mmx400mm。兩個對稱安裝的高速點或線傳感器,其高度測量範圍從2mm到145mm,分辨率從0.2um到5um。Solarius SolarScan軟件提供自動測量功能以及定製化程序模板;模塊化的係統設計為定製化分析軟件提供了較大程度的靈活性。