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光學3D形貌檢測分析係統

發布時間:  2018-12-21

產品型號:  BGA

產品報價:  

所  在  地:  蘇州工業園區星漢街5號騰飛新蘇工業坊B幢6樓13室

產品特點:  Solarius BGA光學3D形貌檢測分析係統快速3D表麵測量,應用於半導體行業的高速測量設備。

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產品概述

Solarius BGA光學3D形貌檢測分析係統檢測並表征半導體器件的參數。這種快速光學3D檢測設備符合半導體行業通用標準,是品保及過程控製的理想工具。
易於自動化
快速非接觸量測
適用於在線檢測
定製化的程序和算法
定製化的數據分析
符合JEDEC標準
遵循SEMI S2/S8
BGA檢測係統是一套具備完整功能成套專用檢測係統。它包括一個快速非接觸式的光譜共聚焦線傳感器,能夠以納米級的分辨率每秒測量幾十萬個點並生成3D數據。係統采用測量範圍高達400mmx400mm的高精度XY運動平台,並且配備隔振平台。專有的分析算法提供定製化數據分析。


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