作為精密的檢測儀器,
三坐標測量儀的測量方向為XYZ軸(橫縱高三個方向),二次元的測量方向為X/Y軸(橫縱向),通常而言三坐標測量儀是氣動設備、其精度會比二次元高一些(二次元也有氣動的,但價格高很多),其價格、重量方麵也高於二次元,普通的機械導軌二次元價格大概在三到五萬左右,氣動的大概在20萬左右,三坐標測量儀的話要更貴。三坐標測量儀在很多範圍都有應用,同時也可以測量工件的許多參數。
三坐標測量儀由標尺係統和測頭係統構成,它們是三坐標測量儀的關鍵組成部分,決定著CMM測量精度的高低。是集光、機、電、計算機及控製技術於一身的複雜的測量係統,因此影響其測量結果不確定的因素較多,但對於中、小型坐標來說,環境溫度偏離標準測量溫度(20℃)是影響其測量結果不確定度的主要因素。為了使三坐標能夠測出準確的結果,應將環境溫度嚴格地控製在坐標機說明書要求的範圍內。
在三坐標測量儀的高精密測量中,微小的熱量也會影響精度的穩定性,而當出氣孔的孔徑小於一定的直徑的時候,卻會相反的會在出氣孔的周圍形成冷凝效應,正是利用這一物理學原理,三坐標測量儀采用歐潼小孔出氣的技術,使得冷凝效應恰恰抵消測量中因為空氣摩擦產生的微弱熱量,使得設備保持長時間的溫度穩定性。測量機的采點發訊裝置是測頭,在沿X,Y,Z三個軸的方向裝有光柵尺和讀數頭。其測量過程就是當測頭接觸工件並發出采點信號時,由控製係統去采集當前機床三軸坐標相對於機床原點的坐標值,再由計算機係統對數據進行處理。