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三維形貌輪廓儀的特點有哪些?
閱讀:1411    發布時間:2016/6/27
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    金屬中的電子並不完全局限於金屬表麵之內,電子雲密度並不是在表麵邊界處突變為零。在金屬表麵以外,電子雲密度呈指數衰減,衰減長度約為1nm。三維形貌輪廓儀用一個極細的、隻有原子線度的金屬針尖作為探針,將它與被研究物質的表麵作為兩個電極,當樣品表麵與針尖非常靠近時,兩者的電子雲略有重疊。若在兩極間加上電壓U,在電場作用下,電子就會穿過兩個電極之間的勢壘,通過電子雲的狹窄通道流動,從一極流向另一極,形成隧道電流I。隧道電流I的大小與針尖和樣品間的距離s以及樣品表麵平均勢壘的高度有關,其關係為式中A為常量。
 
    常規的三維形貌輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的結合,雙模式操作,即使在長程測量時也可以得到zui優化的小區域三維測圖,針尖掃描采用的壓電陶瓷驅動掃描模式,三維形貌輪廓儀在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察,針尖掃描采用雙光學傳感器,同時擁有寬闊測量動態範圍及亞納米級垂直分辨率,為保證工作過程中測童效果不受離焦的影響,即不發生檢測形變,係統應該采用遠心光路的方案,因為被測物麵相對測童光軸的傾斜角度是變化的,因此CCD靶麵在針對不同的物麵傾斜角度進行采集圖像時,必須調整至相對應的角度。
 
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