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激光共聚焦顯微鏡在晶體矽太陽能電池中的應用
閱讀:1212    發布時間:2015/2/6
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   激光共聚焦顯微鏡技術被應用在生物醫學領域,用於細胞標本的平麵圖像和三維(3D)數據采集。“共聚焦”通過聚焦的激光對樣品進行掃描,這種方法可以排除焦點意外的部分反射光幹擾,使側向和軸向的分辨率提高。LSCM的測量方法可以達到0.001μm甚至更精細的分辨率水平,普通寬視野光學顯微鏡zui大理論分辨率為0.2μm,透射電子顯微鏡分辨率可以到達0.1nm,LSCM介於這兩種常用的形態學技術之間,應用於半導體、光伏電池領域具有很多獨特的優勢。
  晶體矽太陽能電池,即光伏電池主流產品的一種,從90s開始在國內及全球有了大規模的生產和逐步應用,很多光伏公司曾經涉足“全產業鏈”模式生產,因此是涵蓋了集化工、材料、半導體於一體的多元集成行業。其中電池生產過程,雖然涉及技術僅僅是通常所述的半導體(Semiconductor)技術的縮略版,但其中環節眾多,影響因素複雜多變,關注各環節的質量指標就成為必要,因此也涉及眾多的測量分析手段。如針對矽片電阻率測量、碳/氧傅裏葉變換紅外含量、矽片表麵形貌顯微測量、發射極方塊電阻測量、電池量子效率測量等等。其中,晶體矽電池基於180μm左右的矽基體薄片上進行電池製作,因此在縱向上涉及到的工藝過程都是在微米甚至亞納米尺度範圍,所以在這一尺度範圍內的二維(2D)輪廓、三維(3D)層次測量和分析就成為貫穿電池生產始終的項目。
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