三維表麵形貌測量儀的應用

三維表麵形貌測量儀可用於物體表麵三維形貌和變形測量。由於該係統既可配備10倍變焦遠距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該係統能同時滿足細觀及宏觀的測量要求。不僅可用於微電子、生物、微機械等微細結構的形貌及變形測量，也可用於混凝土結構、岩土試樣等大型構件表麵形貌和變形測量。係統配有專用的相移條紋圖像處理軟件，使得係統測量精度明顯提高，並且使用方便、操作簡單。

 

工作原理是光學小景深測量與精密垂直掃描相結合。光源所發出的光線經過共軸的分光棱鏡和物鏡，聚焦照射到樣品表麵上並發生反射，所反射光學信號經由分光棱鏡被信號傳感器接收。通過連續的自動的垂直掃描技術以及先進的圖像運算處理技術，獲得樣品完整的表麵三維形貌。

 

三維表麵形貌測量儀的應用：

 

1、精密部件3D尺寸及段差測試；

 

2、精密點膠膠線截麵、膠線寬度、膠線高度測試；

 

3、3D玻璃缺陷檢測；

 

4、半導體表麵缺陷測試；

 

5、多層薄膜厚度測試。