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三維形貌輪廓儀非常實用,用起來也方便

來源:技術文章    發布時間:2019-11-15    瀏覽:263次
  三維形貌輪廓儀對材料表麵的三維輪廓測量,粗糙度測量,寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數據分析,集白光幹涉非接觸測量法和大麵積SPM掃描探針接觸式高精度掃描成像於一個測量平台,能直接測量較大麵積的樣品,而不用通過拚接。
  隨著微細加工技術的不斷進步,微電路、微光學元件、微機械以及其它各種微結構不斷出現,對微結構表麵形貌測量係統的需求越發迫切,三維形貌輪廓儀所具備的雙模式組合,結合了白光幹涉非接觸測量及掃描探針高精度掃描成像於一體,克服了光學測量及掃描探針接觸式的局限性,並具有操作方便等優點成功地保證了其在半導體器件,光學加工以及材料分析領域的地位。
  三維形貌輪廓儀可以輕易的傳輸並且設置在任意一個地方進行使用,特別為大體積樣品的測量而開發,例如,軋輥和車身。由於其便攜性,它非常適用於工廠的在線檢查,隻需幾分鍾準備便可進行測量,並且可以方便地架設在測試對象上,因為它的重量很輕。根據不同測量要求可以編輯不同的應用方案。配有鼻輪和解決方案軟件的三維形貌輪廓儀可滿足了各種各樣的測量任務。點、線、麵三種測量模式,應對從簡單到複雜的測量任務。
  出廠前已完成精度校準,無需在日常使用中進行校準操作,無需對樣品傾斜校正,存在較小傾斜角度仍能正常測量,受環境振動、光線、濕度和溫度等因素影響小,無需恒溫恒濕環境。
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