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三維表麵形貌儀的原理是什麽

來源:技術文章    發布時間:2019-09-26    瀏覽:295次
  三維表麵形貌儀使得用戶可以在保證產線效率的同時實現對產品的在線監控。模塊化產品設計也使得該技術具備超高的集成靈活性,能滿足用戶各種苛刻的應用要求和環境要求。高精度,高重複性和操作簡單特點,能讓用戶輕鬆實現樣品三維表麵輪廓的全麵表征,且不會對樣品造成任何損傷。
  三維表麵形貌儀利用白光點光源,光線經過透鏡後產生色差,不同波長的光分開後入射到被測樣品上。位於白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器係統用來接收經被測點漫反射後的光。根據準共聚焦原理,探測器係統隻能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光,從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標,即X-Z坐標後以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標。後將采集的三維坐標數據交給專業的三維處理軟件進行各種表麵參數的分析。
  在同一平台上結合使用多種光學技術,三維表麵形貌儀可以測量大多數類型的nm分辨率樣品,配有功能強大的分析軟件,符合多種標準能夠在同一測試平台上運行多種測試,產品的組合可根據不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區域可進行不同模式的實驗檢測,模式切換可實現全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發揮各自的優勢。該項整合技術不僅有利於數據的綜合分析,也可以減少維護成本,從而提率。
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